ターボ分子ポンプで、背圧が規定以下であれば、フォアポンプの排気速度は考慮しないで良いのでしょうか？ プロセスガスなど条件が変わらないか心配です。

背圧が規定値以下であればターボ分子ポンプ自体の排気速度はターボ分子ポンプの性能に依存するため変化しません。よって、ターボ分子ポンプの背圧が規定値以下であればフォアポンプの排気速度がターボ分子ポンプの排気速度に影響する事はありません。ただし、同じガス量を処理した場合、フォアポンプが大きい場合と小さい場合ではフォアポンプの排気速度に依存するため、結果的に背圧が異なります。この変化がプロセスガス条件に影響する可能性があります。ガス負荷が高いときのP-Q特性が悪化することが予想されます。