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FAQ

ULVAC製のターボ分子ポンプの取り付け可能角度を教えてください。

磁気浮上型(UTM-FW/FH・UTM-MS・UTM-MシリーズI)は360度取付可能です。
ピボット軸受型(UTMシリーズ)は吸気口可能で、 許容角度は4度です。

真空ポンプFAQ

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