油拡散ポンプのオイルが逆流（急激に減ってしまう）する理由として、考えられる項目は以下となります。
①バルブ軸シール、メカシ軸シールなどの外部リークから低圧側へ同伴している
②バックの油回転真空ポンプの能力低下（排圧不良）
③冷却不良による排気側のトラップ能力の低下
④バルブの動作不良（フォアバルブ）
⑤ガス流量の増加、マスフローの故障（圧力が高い）
真空ポンプFAQ
- 油回転真空ポンプにおいて、高負荷運転とはどのような運転状態のことですか？
- ポンプの保証に標高1,000mという記載がありますが、それは何故ですか？
- 油回転真空ポンプの安全増防爆と耐圧防爆の違いを教えてください。
- 油回転真空ポンプの潤滑用オイルの変化として考えられる項目を教えてください。
- 油回転真空ポンプのオイルシールの漏れ量の基準値はどの程度の量なのでしょうか？
- 油回転真空ポンプVS2401標準のモーターの質量を教えてください。
- 油回転真空ポンプVS2401のモータ配線について、取扱説明書には「直入れ始動結線を行ってください。スターデルタ結線した場合、起動困難になる恐れがあります」と記載がありますが、それはなぜですか？
- 油回転真空ポンプVS2401の60Hz帯でのモーター定格と最大負荷を教えてください。
- 油回転真空ポンプVS2401の正常稼働時のポンプ表面温度は何℃位まで上がりますか？
- 油回転真空ポンプVS1501の60Hz帯でのモーター定格と最大負荷を教えてください。
- 油回転真空ポンプVSシリーズの"VS"の意味を教えてください。
- 油回転真空ポンプVS1501/2401のジャケットカバーは左右同じ形状ですか？
- 油回転真空ポンプVS1501/2401のポンプの冷却水出入り口の差圧はどのくらい必要ですか？
- 油回転真空ポンプVS1501/2401は空冷で使えないのですか？
- 油回転真空ポンプVDシリーズの"VD"の意味を教えてください。
- これまで油回転真空ポンプEC803を使用していましたが、油回転真空ポンプVDシリーズに置き換えても問題ありませんか？
- 油回転真空ポンプVDシリーズで、ガスバラストストストポートから間違えてオイルを給油してしまいました。問題ありますか？
- 油回転真空ポンプPVDシリーズの最大処理水量を教えてください。
- 油回転真空ポンプPKS-016のポンプ表面温度はどのくらいまで上がりますか？
- 油回転真空ポンプ（PKSシリーズ）の運転音が大きいのですが、異常ではないでしょうか？
- 油回転真空ポンプPKSシリーズのポンプは、冷却水で何を（どの部分を）冷やしているのですか？
- 油回転真空ポンプPKSの各型式で排気弁は何個使用していますか？
- 油回転真空ポンプPKSシリーズの最大処理水量を教えてください。
- 油回転真空ポンプPKSシリーズを使用しており、振動を抑えたいのですが、ゴム板を入れても問題無いでしょうか？
- 油回転真空ポンプVD151/201で連続排気運転が可能な圧力を教えてください。
- 油回転真空ポンプVD151/201に油回収機構は取り付けられますか？
- 油回転真空ポンプVD151のゴム脚の穴サイズを教えてください。
- 油回転真空ポンプDシリーズの最大処理水量を教えてください。
- 油回転真空ポンプで、潤滑用オイルが黒濁する理由として考えられる項目を教えてください。
- 油回転真空ポンプにおいて、パンチ音が発生する仕組みを教えてください。
- 油拡散ポンプULKシリーズの冷却水はどちらが入口でどちらが出口ですか？
- 油拡散ポンプ用オイルであるD-11とD-31を混ぜて使用しても問題ありませんか？
- 油拡散ポンプ用オイルD-31仕様に油拡散ポンプ用オイルD-11を入れる場合、ヒーターを交換する必要はありますか？
- 油拡散ポンプが、１時間以上たっても起動完了になりません。 考えられる原因を教えてください。
- 油拡散ポンプが、１時間以上たっても起動完了になりません。 対処方法を教えてください。
- 油拡散ポンプの仕様書に記載されている、臨界背圧とは何ですか？
- 油拡散ポンプで、吸気口には角ガスケットを使用し、排気口にOリングを使用するのはなぜですか？
- メカニカルブースタポンプPMB100Dの吸気口にフランジを取付ける時のボルトサイズを教えてください。
- メカニカルブースタポンプPMB-060Bを060Cに載せ替えたいのですが、何を用意すれば良いでしょうか？
- メカニカルブースタポンプPMB-010Bの重量質量を教えてください。また必要なオイル量はどのくらいですか。
- メカニカルブースタポンプPMB-003Cで、空冷/水冷の判断基準において、530Pa以上の連続運転時は水冷と取説･カタログに記載がありますが、何分以上連続運転する場合に水冷を選択すべきですか？
- メカニカルブースタポンプ（PMBシリーズ）でメカニカルシール部に大量に給油をしてしまいましたが、問題がありますか？
- ポンプの冷却水に純水を使っても問題はありませんか？
- 油回転真空ポンプおよびドライ真空ポンプ等で、酸素を排気する場合はどのくらいに希釈する必要がありますか？
- ドライ真空ポンプLR420のオイル容量を教えてください。
- ドライ真空ポンプLR3600のrpm（回転数）はいくつですか？
- ドライ真空ポンプLR180の吸気口はどのような形状ですか？
- ドライ真空ポンプLR/HR/UR/ER/GRを使用する際、可能な限り水分を多く排気したいのですが、可能ですか？
- ドライ真空ポンプGRシリーズの機種ごとのサイレンサの型式を教えてください。
- ドライ真空ポンプGRシリーズの本体質量はどの程度ですか？
- ドライ真空ポンプCRシリーズは、防音カバーに入れるとどのくらい静かになりますか？
- ドライ真空ポンプCRシリーズの使用オイル種類を教えてください。 また必要なオイル量はどのくらいですか。
- ドライ真空ポンプCRシリーズの最大水蒸気処理量を教えてください。
- ドライ真空ポンプCRシリーズの吸引可能温度は何℃ですか？
- ドライ真空ポンプで標準となっている潤滑用オイルの型式を教えてください。
- ULVAC製のターボ分子ポンプの取り付け可能角度を教えてください。
- ターボ分子ポンプで、背圧が規定以下であれば、フォアポンプの排気速度は考慮しないで良いのでしょうか？ プロセスガスなど条件が変わらないか心配です。
- グリースのオアルーブの密度を教えてください。
- 高真空グリースZ-300の密度を教えてください。
- 高真空グリースZ-300について開封後の使用期限はありますか？
- クライオポンプ用コンプレッサーのC40とC40Rのアドソーバは互換性がありますか？
- 真空ポンプEC803にオイルミストトラップTMX80を使っているのですが、生産中止になっているようです。後継機種を教えてください。
- オイルミストトラップTMX-1の購入時の選択にあるアダプタとは何ですか？
- オイルミストトラップTMXで型式の後ろに付いている"H"の意味を教えてください。
- オイルミストトラップTMXで、RF12付とはどういう意味ですか？
- オイルミストトラップTM-4Sのエレメントやカートリッジ型への変換セットはオイルミストトラップTM-4と同じですか？
- オイルミストトラップTM-4F頭のフランジ部分に使うOリングの型式を教えてください。
- オイルミストトラップTM-4下部フランジのガスケットの型式を教えてください。
- 真空ポンプ用合成油SR8000が100℃まで上昇した際の動粘度、粘度指数、水分(%)を教えてください。
- 真空ポンプ油R-7のラインナップに1L缶はありますか？
- 真空ポンプ油D-11とD-31の違いは何ですか？
- 真空ポンプ油 R-7の使用が推奨されている油回転真空ポンプに誤って油回転真空ポンプ油MR-100を入れてしまいました。どうすれば良いですか？
- 油回転真空ポンプの排気性能低下について考えられる主な原因は何ですか？
- 油回転真空ポンプのオイル劣化について考えられる主な原因は何ですか？
- 冷却水が不足するとポンプにどのような影響がありますか？