油拡散ポンプの仕様書に記載されている、臨界背圧とは何ですか？

油拡散ポンプが正常な機能を維持できる最大の排気口圧力です。
油拡散ポンプは、大気圧状態から容器等の真空排気を出来るものではなく、ある一定の圧力以下でないと機能しません。油拡散ポンプのケース内の圧力が一定の圧力以下でないと油がジェット噴射できず機能しません。そのため、補助ポンプで油拡散ポンプを排気するのですが、その際の補助ポンプで排気して油拡散ポンプが機能する限界の圧力の事を、臨界背圧と呼んでいます。